1、加料:将多晶硅原料及所需杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定,常用杂质包括硼、磷、锑、砷。
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2、熔化:在长晶炉中抽真空后充入高纯氩气,维持一定压力范围内,然后使用石墨加热器加热至超过1420℃,使多晶硅原料完全熔化。
3、晶体生长:温度稳定后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中开始晶体生长,这一过程包括缩颈生长、放肩生长、等径生长和尾部生长,通过精细控制提拉速度和熔液温度分布来生产所要求直径的单晶硅棒。
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硅棒加工流程则涉及从硅石原料的提取到最终生成单晶硅棒的一系列步骤,主要包括以下内容:
1、选取高纯度硅石:硅石经过磨粉、洗涤等处理以确保原料的高纯度。
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2、熔炼:将处理过的硅石放入电阻炉中进行熔炼,在保护气氛下防止氧化,并使其熔化成液态硅。
3、凝固:在石英或铂坩埚内进行凝固,需控制凝固速度和温度梯度以获得高纯度的单晶硅棒。
4、切割:凝固完成后的硅石棒可切割得到较短的硅棒,之后可能还需要进行打磨和其他精细加工步骤来制成晶圆。
整个生产与加工过程对材料的纯度、温度控制以及环境条件有着极高的要求,确保最终产物符合半导体行业的严格标准。
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